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日本CANON ANELVA真空計(jì)M-311HG-SP/M-311HG-RS
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南京易鳴銷售日本CANON真空計(jì)、離子規(guī) 原裝正品 品質(zhì)保證!
產(chǎn)品品牌:日本CANON
產(chǎn)品名稱:真空計(jì)、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號(hào)如下所示:
特長(zhǎng):
ワイドな圧力測(cè)定範(fàn)囲
10-7Pa~10Paまで、超高真空側(cè)の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領(lǐng)域まで測(cè)定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信號(hào)出力は、100msec以內(nèi)と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設(shè)定モード
高圧力領(lǐng)域側(cè)での使用時(shí)のフィラメント壽命改善など、用途に合わせ選択が可能
用途:
生産用真空裝置の圧力測(cè)定
半導(dǎo)體スパッタリング裝置の圧力測(cè)定
各種真空裝置
規(guī)格尺寸:
型 名 イオンゲージ
M-311HG-SP M-311HG-RS
圧力測(cè)定範(fàn)囲 1×10-7~10Pa
入力電圧 DC20~28V
消費(fèi)電力 12W
アナログ出力 0~10V -
セットポイント 2點(diǎn)リレー出力
インターフェース - RS485
入出力コネクタ Dsub-9(Male)
最大ケーブル長(zhǎng) 200m(1mm2)
使用溫度範(fàn)囲 5~50℃
保存溫度範(fàn)囲 -20~70℃
センサ-型名 ミニチュアB-Aゲージ(MG-2Iシリーズ)
センサー材質(zhì)(主要部) フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
外形寸法(mm) 110×70×50
フランジ形狀 NW16, NW25, ICF34, ICF70
保護(hù)規(guī)格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応
全部評(píng)論