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日本CANON ANELVA真空計(jì)M-311HG-SP/M-311HG-RS
南京易鳴機(jī)電設(shè)備有限公司是一家集營銷的綜合型貿(mào)易公司，注冊資本300萬，公司擁有穩(wěn)定、高效、優(yōu)質(zhì)、快捷的供貨渠道。易鳴主營日本原裝全新的進(jìn)口工業(yè)泵、電磁閥、傳感器、UPS電源、流量計(jì)、加熱器、儀器儀表、連接器、變壓器、信號(hào)燈、壓力開關(guān)、工類耗材、機(jī)械設(shè)備及安全防護(hù)等，歡迎新老客戶來電或在線咨詢。
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南京易鳴銷售日本CANON真空計(jì)、離子規(guī) 原裝正品 品質(zhì)保證!
產(chǎn)品品牌：日本CANON
產(chǎn)品名稱：真空計(jì)、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號(hào)如下所示：
特長:
ワイドな圧力測定範(fàn)囲
10-7Pa～10Paまで、超高真空側(cè)の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領(lǐng)域まで測定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信號(hào)出力は、100msec以內(nèi)と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設(shè)定モード
高圧力領(lǐng)域側(cè)での使用時(shí)のフィラメント壽命改善など、用途に合わせ選択が可能
用途:
生産用真空裝置の圧力測定
半導(dǎo)體スパッタリング裝置の圧力測定
各種真空裝置
規(guī)格尺寸：
型 名 イオンゲージ
M-311HG-SP M-311HG-RS
圧力測定範(fàn)囲 1×10-7～10Pa
入力電圧 DC20～28V
消費(fèi)電力 12W
アナログ出力 0～10V －
セットポイント 2點(diǎn)リレー出力
インターフェース － RS485
入出力コネクタ Dsub-9（Male）
最大ケーブル長 200m（1mm2）
使用溫度範(fàn)囲 5～50℃
保存溫度範(fàn)囲 -20～70℃
センサ－型名 ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ）
センサー材質(zhì)（主要部） フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
外形寸法（mm） 110×70×50
フランジ形狀 NW16, NW25, ICF34, ICF70
保護(hù)規(guī)格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応
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